Die Optische Glimmentladungsspektrometrie (GDOES) ist ein Verfahren zur Analyse von Feststoffen und Beschichtungen. Im Unterschied zur Funken-Spektralanalyse sind mit der GDOES auch Schichtanalysen und Tiefenprofile möglich, also eine Information zur chemischen Zusammensetzung in Abhängigkeit von der Schichtdicke oder Probentiefe.

Es können Schichten von < 50 nm bis ca. 200 µm analysiert werden, die Nachweisgrenzen liegen je nach Element im Bereich 1–10 ppm.

Instrumentelle Ausstattung

Spektrometer: Spectruma GDA 750 mit DC- und HF-Anregung, 47 fixen PMT (Photomultiplier)-Elementkanälen und zusätzlichem Monochromator und CCD-Optik

Messfleck: 2,5 oder 4 mm Durchmesser

Durch Einsatz der sogenannten Universalmesskammer in Kombination mit entsprechenden Adaptern können auch gekrümmte Proben gemessen werden

Anwendungsmöglichkeiten

Qualitative und quantitative Tiefenprofile im Bereich:

• Galvanische Beschichtungen 
• PVD/CVD-Schichten
• Passivierungen
• Wärmebehandlung / Härten / Nitrieren

Durchschnitts/Bulk-Legierungsanalysen von z.B.:

• Stählen aller Art, gegebenenfalls auch in Kombination mit RFA 
• Aluminium-, Kupfer- und Titanlegierungen