Optische Glimmentladungsspektroskopie (GDOES)

Die Optische Glimmentladungsspektrometrie (GDOES) ist ein Verfahren zur Analyse von Feststoffen und Beschichtungen. Im Unterschied zur Funken-Spektralanalyse sind mit der GDOES auch Schichtanalysen und Tiefenprofile möglich, also eine Information zur chemischen Zusammensetzung in Abhängigkeit von der Schichtdicke oder Probentiefe.

Es können Schichten von < 50 nm bis ca. 200 µm analysiert werden, die Nachweisgrenzen liegen je nach Element im Bereich 1–10 ppm.

Instrumentelle Ausstattung

Spektrometer: Spectruma GDA 750 mit DC- und HF-Anregung, 47 fixen PMT (Photomultiplier)-Elementkanälen und zusätzlichem Monochromator und CCD-Optik

Messfleck: 2,5 oder 4 mm Durchmesser

Durch Einsatz der sogenannten Universalmesskammer in Kombination mit entsprechenden Adaptern können auch gekrümmte Proben gemessen werden

Anwendungsmöglichkeiten

Qualitative und quantitative Tiefenprofile im Bereich:

  • Galvanische Beschichtungen 
  • PVD/CVD-Schichten
  • Passivierungen
  • Wärmebehandlung / Härten / Nitrieren

Durchschnitts/Bulk-Legierungsanalysen von z.B.:

  • Stählen aller Art, gegebenenfalls auch in Kombination mit RFA 
  • Aluminium-, Kupfer- und Titanlegierungen


Ansprechpartner/in

Harald Merz

Downloads

Alle Prüfverfahren auf einen Blick (Pdf)
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